_適用于大型光學(xué)元件的非接觸式高精度3D表面形貌檢測

泰勒·霍普森TAYLOR HOBSON近日發(fā)布LUPHOScan 850 HD非接觸式3D光學(xué)表面形貌測量系統(tǒng)， 這一新品的推出突破了大型光學(xué)計量的極限， 填補(bǔ)了行業(yè)內(nèi)大型復(fù)雜光學(xué)元件非接觸式高精度三維表面形貌檢測的空白。

測量原理

LUPHOScan 850 HD以全球優(yōu)越的LUPHOScan HD測量平臺為基礎(chǔ)，采用多波長干涉測量技術(shù)。 當(dāng)光學(xué)元件旋轉(zhuǎn)時， 傳感器沿著被測件的輪廓移動，對整個面形進(jìn)行螺旋式掃描。這種技術(shù)可以測量非球面、球面、平面、衍射面和自由曲面等任何光學(xué)表面形狀。 

LUPHOScan HD

LUPHOScan 850 HD的一系列前瞻性**為您提供可以信賴的測量結(jié)果。

革ming性的測量能力

被測工件的直徑*小可達(dá)5mm，*大可達(dá)850mm，高度可達(dá)210mm,被測工件*大重量可達(dá)350Kg。

超高的測量精度

能夠**地測量3D表面面形，面形誤差的重復(fù)性<λ/20（PV99）和 ≤5nm RMS*。

超高的采樣點(diǎn)數(shù)

高達(dá)600萬的測量點(diǎn)數(shù)， 可以**地測量和分析大尺寸光學(xué)元件的中頻面形誤差。

自由曲面的檢測

對自由曲面，圓周*大切向坡度變化可達(dá)±8°。（工件陡度可以達(dá)到90°）

幾乎能測量所有材料

可測量透明、不透明、鏡面、拋光或磨光表面。

測量環(huán)境條件變化的實(shí)時誤差補(bǔ)償

配置四個溫度補(bǔ)償傳感器和一個氣壓測量傳感器。

自動調(diào)心調(diào)平

全自動測量， 提供極為穩(wěn)定而**的測量結(jié)果。

           *隨被測件的大小、形狀和重量而變化

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上海浦量元精密機(jī)電有限公司

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